在光刻工藝，光學和雷射技術、半導體和光碟生產以及若干其他生產工藝中，絕對清潔的環境和無塵空氣是至關重要的。氣閘和空氣篩檢程式過濾空氣中最為細微的顆粒，並有效地防止製作間免於遭受外界的不利影響。

高精度空調系統可以控制氣壓並克服多層過濾系統的高流阻。同時，還可以將潔淨空氣強力、均勻地送入製作間，同時不產生湍流。